Microcircuit engineering 88, ME - proceedings of the International Conference on Microlithography, September 20-22, 1988, Vienna, Austria
- Författare
- Hans Löschner Wolfgang Fallmann Fritz Paschke International Conference on Microlithography 1988) (Wien :
- (Edited by F. Paschke, W. Fallmann and H. Löschner.)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| 1989 | Nederländerna | 653 sidor. |